米乐app官方-米乐m6苹果官网下载 > 标准下载>ys/t 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法 test method for thickness of epitaxial layers-stacking fault size免费下载
标准简介
本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。
本标准适用于在＜111>、＜100>和＜110> 晶向的硅单晶衬底上生长的2μm~120μm硅外延层厚度的测量。标准
ys/t 23-2016
代替ys/t 23-1992
硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法
test method for thickness of epitaxial layers-stacking fault size
2016-04-05发 布 2016-09-01实 施
中华人民共和国工业和信息化部发布
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ys/t 23-2016
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本标准按照gb/t 1. 1-2009给出的规则起草 。
本标准代替ys/t 23-1992《 硅外延层厚度测定堆垛层错尺寸法 》 。 本标准与ys/t 23-1992相
比 ， 主 要 变 动 如 下 ：
— — 增 加 了 “ 术 语 和 定 义 ” “ 干 扰 因 素 ” （ 见 第 3章 、 第 5章 ） ；
— —删除了非破坏性测试方法 ；
— —在第6章中增加了无铬腐蚀液b
标准截图